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??8" chuck，平整度: 5μm, 標準卡盤可360度無間隙旋轉，微調±5°

??Chuck ?XY行程：203x203mm

??顯微鏡在 X-Y 平面2" x 2" 范圍內移動,精度1μm

??顯微鏡氣動升降便于更換物鏡

??Plant快速升降行程10mm，上下微調行程30mm，升降精度1um，贈送數顯百分表便于監控

?選配加裝Probe card，增大型U型臺面，可以同時容納8個探針座