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    PIP-12”(Air-bearing stage)

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    產品名稱 PIP-12”(Air-bearing stage)

    12" chuck,平整度: 5μm, 標準卡盤可360度無間隙旋轉,微調±5°

    ? Chuck采用Air-bearing stage技術,可快速拖移氣浮底座,XY行程:305x305mm,,并帶自動鎖死裝置

    ? 顯微鏡在 X-Y 平面2" x 2" 范圍內移動,精度1μm

    ? 顯微鏡氣動升降

    ? Plant快速升降行程10mm,上下微調行程30,升降精度1um,贈送數顯百分表便于監控

      選配加裝Probe card,增大型U型臺面,可以同時容納12個探針座

    ?  總重約 150千克



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